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    易度儀器順利取得中國層流質(zhì)量流量計CPA證書(shū)

    時(shí)間:2022-12-01      點(diǎn)擊次數:2240


    近日,易度儀器收獲喜訊,其自主研發(fā)的通用型層流質(zhì)量流量計系列產(chǎn)品,通過(guò)中國計量科學(xué)研究院的計量器具型式評價(jià)試驗,獲得中國..層流質(zhì)量流量計計量器具型式批準資質(zhì)證書(shū)(簡(jiǎn)稱(chēng)CPA證書(shū))。產(chǎn)品精度達到國家可批準.高級別1.0級,重復性0.1%,響應時(shí)間0.01S。

    一直以來(lái),小微氣體、液體流量的測量和控制被西方發(fā)達國家技術(shù)壟斷,這項技術(shù)在眾多制造領(lǐng)域,包括半導體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術(shù)。易度儀器層流質(zhì)量流量計的研發(fā)和誕生,是公司博士、碩士組成的高素質(zhì)創(chuàng )業(yè)骨干,聯(lián)合國內..的..學(xué)者等組成研發(fā)團隊,面對國外技術(shù),自2011年以來(lái)恪守流體測控領(lǐng)域,自主創(chuàng )新,不懈努力的結晶。


    苦心孤詣:七年研發(fā),挑戰世界難題


    2011年,這個(gè)以“80后"為主力軍的研發(fā)團隊開(kāi)始向國外技術(shù)發(fā)起挑戰,當時(shí)國外進(jìn)口的設備獨步天下,相關(guān)技術(shù)也被西方發(fā)達國家壟斷,國內只有個(gè)別廠(chǎng)商可以生產(chǎn)一些低端產(chǎn)品,精度低,重復性差,只能配套于低端產(chǎn)業(yè),由于缺乏核心傳感器技術(shù),即便拆開(kāi)了國外的設備,也難以突破。無(wú)數事實(shí)表明:試圖通過(guò)仿制國外產(chǎn)品的路是走不通的。從研發(fā)一開(kāi)始,易度團隊就清醒地認識到,精密儀器屬于技術(shù)密集型產(chǎn)品,只有通過(guò)自主創(chuàng )新,遵循“概念論證"——“關(guān)鍵技術(shù)驗證"——“方案驗證"——“原理樣機"——“工程樣機"——“產(chǎn)品樣機"——“產(chǎn)品"的技術(shù)路線(xiàn),才能真正掌握技術(shù),研發(fā)出高精尖的產(chǎn)品。


    這一技術(shù)路線(xiàn)耗時(shí)之長(cháng)、成本之高、風(fēng)險之大,他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活,有家人的不理解,也有周?chē)说某靶?。當時(shí)在微流量測量領(lǐng)域擺在研發(fā)團隊面前的有兩條技術(shù)方向:一是以傳熱學(xué)原理為基礎的熱式質(zhì)量流量計,主要由歐美日的六七家公司占據全球絕大部分市場(chǎng),是技術(shù)的主流,技術(shù)成熟度較高,但國內一直無(wú)法掌握熱式傳感器這一技術(shù)核心;另外一條是以“哈根泊肅葉定理"為基礎的層流質(zhì)量流量計,其核心的層流傳感器研發(fā)由于技術(shù)難度更高,制造工藝極為復雜,讓那些生產(chǎn)熱式質(zhì)量流量計的國際..廠(chǎng)商也望而卻步。幾十年來(lái),全球范圍內..取得重大層流技術(shù)突破的只有一家美國公司,但離實(shí)現大規模商業(yè)應用還有不小的距離。


    最終,考慮到熱式技術(shù)已趨于成熟,發(fā)展空間趨于飽和,在充分調研后,這群80后“初生牛犢,擁有廣闊技術(shù)發(fā)展空間,但技術(shù)門(mén)檻更高的層流質(zhì)量流量計技術(shù)路線(xiàn),開(kāi)始專(zhuān)注于攻克核心技術(shù)——“通用型層流傳感器"的研發(fā)。


    獨立自主:攻克核心,成就中國..


    毫不夸張地說(shuō),一個(gè)國家微流體測控水平的高低,決定著(zhù)制造業(yè)水平的高低。小微流量測控領(lǐng)域通常測量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s,跨度范圍超過(guò)9個(gè)數量級,而每次測量響應速度要小于0.01s,連續兩次測量的相對誤差小于千分之一,技術(shù)難度可想而知。


    易度團隊歷時(shí)七年苦心孤詣的研究,從2013年..款層流傳感器原理驗證機的誕生,到2014年..代控制板原理驗證機的研發(fā),2015年底..臺層流質(zhì)量流量計工程樣機的研發(fā)成功,一直到2017年6月,..代層流質(zhì)量流量計的問(wèn)世,2018年底順利通過(guò)國家計量院的型式評價(jià)認證。這其中沒(méi)有現成的經(jīng)驗可以借鑒,所有的工作都要從零開(kāi)始,一遍一遍地設計,一次一次地試驗,失敗了,重新開(kāi)始,重新改進(jìn),研發(fā)過(guò)程是痛苦的,但值得驕傲的是,易度團隊堅持了下來(lái),啃下了一個(gè)個(gè)硬骨頭,并掌握了這項核心技術(shù),成就了今天的產(chǎn)品。


    目前該項技術(shù)已獲國家發(fā)明..兩項,同時(shí)在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內,也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術(shù),產(chǎn)品經(jīng)過(guò)國家.高機構的驗證,成為中國..通過(guò)認證的通用型層流質(zhì)量流量計生產(chǎn)商。


    永無(wú)止境:高效專(zhuān)注 增添中國力量



    易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計和控制器,不僅能實(shí)現對氣體和液體質(zhì)量流量的測量,還能精準控制,是國內..款自主研發(fā)的層流原理數字化產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)無(wú)數次技術(shù)改進(jìn),產(chǎn)品正日趨成熟,實(shí)現了在-20℃到60℃環(huán)境下的正常使用,精度控制在1.0級以?xún)?,重復?.1%,響應時(shí)間達到0.01S。


    聚焦用戶(hù)過(guò)程控制,半導體300多項關(guān)鍵工藝中,有光刻、氣相沉積、單晶生產(chǎn)等超過(guò)70%的工藝項點(diǎn)都與微流量測量相關(guān);石墨烯等新材料的生產(chǎn)制造過(guò)程中,.常用的方法增強等離子的化學(xué)氣相沉積,也需要精準配給氣體和液體;等離子體發(fā)動(dòng)機作為未來(lái)航天發(fā)展方向,在生產(chǎn)制造工藝和地面測試環(huán)節,需要測量小于1ml/min稀有氣體的質(zhì)量流量,這是等離子體發(fā)動(dòng)機穩定工作的關(guān)鍵測試工藝。


    近五年,全球微流量測量領(lǐng)域業(yè)務(wù)每年以30%的速度迅猛增長(cháng),隨著(zhù)以芯片制造、生物醫藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興制造業(yè)的迅猛發(fā)展,更加精細化的制造工藝對微流量測量控制儀器提出了更高要求。在當前國家大力發(fā)展制造業(yè)的背景下,易度儀器有責任也有信心繼續精鉆技術(shù),專(zhuān)注流體測控領(lǐng)域,解決微流量測控領(lǐng)域難題。


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